1、我們使用GPI-ZYGO激光平面干涉儀進行產(chǎn)品表面平整度的測量，測量精度可以達到1/20λ;

2、采用基恩士IM-7000數(shù)顯輪廓儀、三豐千分表等測量器具，進行產(chǎn)品尺寸的測量，以保證測量精度；

3、使用自準值測角儀、細分多齒分度臺等檢測設備對產(chǎn)品的角度精度進行測量，測量精度達到±0.2″；

4、表面光潔度指標的檢測，依據(jù)ISO10110及MIL-O-13830B標準。